НИИПМ

  Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения (с 1993 г. открытое акционерное общество «НИИПМ») создан на основании постановления Совета Министров СССР в 1961 году со специализацией в области научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по созданию комплексно-механизированных линий и отдельных образцов специального технологического, контрольно-измерительного и испытательного оборудования для производства полупроводниковых приборов и интегральных схем.

    За более чем 50-летнюю историю деятельности сформировалась специализация института, сегодня это:

• оборудование для фотолитографических процессов на полупроводниковых, стеклянных (фотошаблоны) и керамических подложках диаметром до 200 мм под проектные нормы 0,35-0,5 мкм и менее;
• технохимическое оборудование для жидкостных операций (очистка поверхности подложек, травление слоев, удаление фоторезиста) на пластинах диаметром до 200 мм и стеклянных подложках (ЖК-экраны) размером 370х400 мм с использованием новых технологических процессов (мегазвук, сушка Марангони, бесконтактная очистка поверхности и др.);
• оборудование для плазмохимических процессов (очистка поверхности, травление диэлектрических и металлических пленок, нанесение тонких пленок, удаление фоторезиста) на полупроводниковых подложках диаметром 200 мм, стеклянных размером 200х200 мм;
• контрольно-измерительные системы для дискретных полупроводниковых приборов (в том числе силовых на ток до 100 А и напряжение до 4000 В) и больших интегральных схем в корпусах с 256 выводами на частоте функционирования 100 МГц;
• испытательное оборудование для ИЭТ повышенной надежности (термоциклирование, сортировщики при нормальной, повышенной +150оС и пониженной 60оС температурах, стенды электротермотоковой тренировки, контактирующие устройства, технологические спутники-носители);
• технологические комплексы и отдельное оборудование для получения особо чистой воды производительностью от сотен литров до десятков кубических метров в час с использованием современных безреагентных методов.

    Развитие нанотехнологий в РФ невозможно без организации производства специализированного оборудования для исследования возможностей нанотехнологий и создания наноматериалов. В 2008 году разработана компактная опытно-промышленная установка синтеза фуллерен содержащей смеси и углеродных нанотрубок выращенных на предварительно подготовленных каталитических центрах.

    Установка получения фуллереносодержащей смеси и углеродных нанотрубок электродуговым методом в атмосфере гелия. Фуллерен содержащая смесь, растворённая в толуоле, красный цвет подтверждает наличие фуллеренов. Количественная оценка содержания фуллеренов в смеси в зависимости от технологических режимов, % от 4,5 до 13,6. Новое направление – разработка и производство оборудования, использующее энергетические возможности монокристаллов с памятью формы.

    Пресс с телескопическими силовыми генераторами на основе энергетических свойств монокристаллов с памятью формы – первый опытный экземпляр на этапе цеховой сборки. Комплексная разработка для строительства «умного дома»: -технологии производства теплоизоляционного материала на бесцементной основе; -оборудование и организация производства «под ключ». Образцы теплоизоляционных блоков отличаются низкой теплопроводностью и устойчивостью к воздействию внешних факторов.

    ОАО «НИИПМ» сегодня является одним из основных разработчиков и изготовителей специального оборудования для производства изделий микроэлектроники в Российской Федерации. Основная его задача – обеспечение выполнения предприятиями отрасли ФЦП «Развитие электронной компонентной базы и радиоэлектроники на 2008-2015 гг.». Институт является активным участником программ союзного государства Россия-Беларусь по созданию современного оборудования, ведет разработки в обеспечение программ подготовки серийного производства важнейших комплексов специального назначения. На базе ОАО «НИИПМ» создан Воронежский инновационно-технологический центр.

    Сегодня это управляющая компания технопарка «Содружество», который в марте 2007 г. первым в Воронежской области получил официальный статус. В технопарке размещены 80 малых предприятий, два научно-исследовательских института, отделения двух академий, коммерческие банки, дизайн-центры, центр трансфера технологий. Объем научно-технической продукции технопарка «Содружество» составляет более миллиарда рублей. С целью консолидации усилий разработчиков специального оборудования для микроэлектроники институт выступил инициатором создания и стал одним из учредителей некоммерческого партнерства «Научно-техническая ассоциация электронного спецмашиностроения». Силами предприятий ассоциации возможно проведение разработок самого совершенного оборудования практически по всему технологическому процессу производства ИЭТ.